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射頻反應磁控濺射制備氮化銅薄膜
發布日期:2010-06-12 作者:肖劍榮,徐 慧,劉小良,李燕峰,張鵬華,簡獻忠
使用射頻反應磁控濺射法,在不同的射頻功率和氣體流量比下制備了氮化銅薄膜,并用X射線衍射儀和原子力顯微鏡對薄膜的結構進行表征。研究結果表明:薄膜呈現擇優生長規律,由低氣體流量比的Cu3N(111)晶面轉向...
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