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難鍍基材上乙醛酸作為還原劑的化學鍍銅
發布日期:2010-06-09 作者:唐 電, 魏喆良,邵艷群,孫荊華,LEE Ye-kun,游少鑫,李敬業
采用乙醛酸代替有害的化學藥品(如甲醛)作為還原劑的化學鍍技術,在工業純鋁片、工業純鈦片、以TiN作為擴散防護層的硅片和以TiSiN作為擴散防護層的硅片等難鍍材料實現了化學鍍銅。被覆銅鍍層的表面形貌和晶粒...
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