在JGP560V磁控濺射鍍膜設(shè)備上鍍制多晶銅膜，利用納米壓入技術(shù)測量了其室溫下的蠕變性能。結(jié)果表明：由于不同加載方式下，材料加工硬化程度的不同造成了應(yīng)力指數(shù)的差異，因而，不同加載方式對測得的銅膜蠕變應(yīng)...
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發(fā)布日期：2010-06-11 作者：王 飛,徐可為
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